应用范围:太阳能硅片、半导体等 主要特点: ■2500片(156*156)/小时超大产能。 ■采用第三代最新技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落。 ■最新全自动补液技术。 ■独特的硅片干燥前处理技术。 ■成熟的硅片清洗工艺,多种先进技术集于一身。 ■彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换。